株式会社SUMCO

平川瑶一朗

九州大学大学院工学府機械工学専攻

大規模非線形系に対する高性能振動解析手法の開発。
機械の軽量化・複雑化が進んでおり、そのような機械では従来の方法では精度良く解析できない非線形性を持った振動が発生する。非線形性を持った振動でも高精度に解析できる新しい振動解析手法の開発を実施した。

シリコンウェーハの表面品質を向上させる加工技術の開発。
この開発により、さらに品質の良いウェーハを加工することができ、より高性能な半導体デバイスの加工が可能となる。

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